DL-1000GS/SS

仕様

一般名：　マスクレス露光装置
メーカー名：　（株）ナノシステムソリューションズ
　　　　　　　　NanoSystem Solutions, Inc.
型番：　DL-1000GS/SS
注意事項：　クリーンルーム内にある装置です。　最低限のフード、ウエア、靴、手袋は準備しております。使用基準に満たない場合は、各研究室で準備をお願いいたします。
　　　　　　また薬品を使用する場合、そのMSDSに応じて防護メガネや対応したマスク等を着用ください。
設置場所：　09I25（豊洲校舎9F）

仕様　
　光源：405 nm LED
　照度：1 W/cm2
　位置決め精度：±100 nm 以下
　重ね合わせ精度：±100 nm 以下
　試料サイズ：最大8インチ角
　その他：スキャニング高速露光、自動/手動アライメント機能、汎用CAD/画像ファイル読込可